P-725.xCDE2 用于顯微鏡物鏡的PIFOC聚焦掃描儀®

動態(tài)掃描，行程范圍為 100 μm、400 μm 或 800 μm

PI聚焦掃描儀P-725.xCDE2特點

行程范圍 100 μm、400 μm 或 800 μm

響應速度明顯快，使用壽命明顯優(yōu)于電動驅(qū)動器

亞納米分辨率鏡頭的精細定位

使用電容式傳感器進行直接位置測量：最高線性度

與變形成像軟件兼容

? 29 mm 的大自由光圈

PI聚焦掃描儀P-725.xCDE2應用

超分辨率顯微鏡

光片顯微鏡

共聚焦顯微鏡

2光子顯微鏡

3D 成像

篩分

干涉

測量

自動對焦系統(tǒng)

生物工藝學

半導體檢測

PI PICMA 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命

PICMA壓電陶瓷促動器是陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。已經(jīng)證明了 100 億次循環(huán)，沒有一次故障。

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行非接觸式測量。它們保證了出色的運動線性度、高長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

通過無間隙固態(tài)接頭導向裝置實現(xiàn)高導向精度

固態(tài)接頭導軌免維護、無摩擦、無磨損，不需要潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動不敏感。它們在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。

PI P-725.1CDE2技術參數(shù)

活動軸 Z

在Z中旅行 100 µm

Z 軸行程范圍，不受管制 120 µm

Z 軸線性偏差  0,01 %

偏航 (在Z軸中移動時以 @x 為單位的旋轉(zhuǎn)串擾) ± 10 µrad

傾斜 (在 Z 軸中移動時以 eY 為單位的旋轉(zhuǎn)串擾) ± 10 µrad

Z 軸上的最小步長  1 nm

點重復性，10% 增量，1 西格瑪 10 nm

內(nèi)置傳感器  電容式直接位置測量

傳感器噪聲，1 西格瑪 0,2 nm

Z軸位置噪聲 0,1 nm

Z 軸中 10% 步進的建立時間 14 ms